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マスフローコントローラー　S48-32-MFC-30LM-4IS-N2

通常価格(税込)：
109,450 円
94,525円 (販売価格 103,978 円)
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S48-32-MFC-30LM-4IS-N2

型番
S48-32-HMT,,MFC-30SLM-4IS-N2
入数
1個
特徴
●気体の正確な質量流量制御が可能です。
●高信頼性のサーマルセンサーやソレノイドバルブを搭載しています。
●高速応答で流量設定値まで2秒以内です。
仕様
●フルスケール流量/接続:30SLM
●接続口径:1/4inchSW
●測定ガス種:N2
●★入数:1個
●接ガス部材質:SUS316L、バイトン、PTFE、磁性ステンレス
●バルブ形式:非通電時 閉(クローズ):C
●流量制御範囲:0〜50LM/2〜100%FS、100LM〜/5〜100%FS
●応答速度:0〜50LM/1秒以内、100LM〜/2秒以内
●流量精度:±1.0%F.S.(15℃〜35℃)
●繰り返し再現性:±0.2%F.S.(15℃〜35℃)
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10-8Pa・m3/s(He)以下
●流量設定信号:0.1〜5VDC
●流量出力信号:0-5VDC
●駆動電源:DC±15V
●標準継手:0〜50LM/1/4inch Swagelok相当 面間=127mm、100LM・200LM/3/8inch Swagelok相当 面間=181mm

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