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マスフローコントローラー 30LM N2 C1030-4S2-30L-N2

通常価格(税込)：
146,300 円
126,350円 (販売価格 138,985 円)
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コントローラーC10304S230LN2

JANコード
4589645251092
型番
C1030-4S2-30L-N2
入数
1個
特徴
●熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します(30秒以上のインターバルが必要)。
仕様
●流量(SLM):30
●ガス:N2
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15〜35℃)
●再現性:±0.2%FS
●流量制御範囲:5〜100%FS
●流体:気体
●使用可能温度:5〜50℃ 85%RH以下
●応答性:6sec
●動作圧力範囲:50〜300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316・PTFE・フッ素ゴム
●表面処理:機械加工仕上げ
●継手:1/4in.SWL相当
●入出力:アナログ信号(0〜5VDC)
●バルブ形式:N/O ノーマルオープン
●駆動電源:+15VDC±5% 60mA、-15VDC±5% 150mA
●通信方式:アナログ0〜5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:160×33.6×105mm

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