太洋株式会社 / コントローラC1005-5SLM-N2

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マスフローコントローラー 5SLM-N2 C1005

98,800円 (販売価格 108,680 円)

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JANコード: 4589645250422
型番: C1005
入数: 1個
特徴: ●熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
●スタート時のフローサージ現象を抑制します。
仕様: ●フルスケール流量:5SLM-N2
●ガス種類:N2
●流量精度:±2%FS(精度保証範囲15〜35℃)
●応答性:6sec
●流量制御範囲:5〜100%FS
●入出力:アナログ信号(0〜5VDC)
●バルブ形式:N/Oノーマルオープン
●再現性:±0.2%FS
●動作圧力範囲:50〜300kPa
●耐圧:1MPa(G)
●外部リークレート:1×10^-7Pa・m3/sec(He)以下
●接ガス部材質:SUS316、PTFE、フッ素ゴム
●接続:1/4in.SWL相当
●電源:+15VDC±5%　60mA、-15VDC±5%　150mA
●通信方式:アナログ0〜5VDC(D-Sub9Pinコネクタ)
●サイズ:127×25.5×100mm